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深圳市广辉电子有限公司
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询价产品信息
●多个集中安装/O 形密封圈
●陶瓷流量管（无引气管），0-1000sccm
●塑料流量管（无引气管），0-6SLPM
●高共模压力（150psi）
●工作温度可至125?C
● 零点和满量程高稳定性
AWM40000系列气体质量流量传感器包括不带放大和放大/ 信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43600V气体质量流量传感器为6SLPM 器件。
图1 WM43300V气体质量流量传感器发热控制电路
PREFIX = O 图2 WM43300V气体质量流量传感器传感桥路供电电路
AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:
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AWM42150VH |
AWM42300V |
AWM43300V |
AWM43600V | |
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流量范围（满量程） |
±25sccm |
±1000sccm |
+1000sccm |
+6LPM
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输出电压@ 标定点 |
8.5±1.5mV @25sccm |
54.7±3.7mVDC @1000sccm |
5±0.15VDC @1000sccm |
5±0.15VDC @6LPM |
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零点电压 |
0.0±1.0 mV DC |
0.0±1.0 mV DC |
1.00±0.05VDC |
1.00±0.05VDC
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零点漂移+25~-25?C +25~85?C |
±0.20mV DC |
±0.20mV DC |
±0.025VDC |
±0.025VDC
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输出电压漂移+25~-25?C +25~+85?C |
+2.5% 读数(典型值) -2.5% 读数(典型值) |
±2.5% 读数(值) +6% 读数(值) |
-5% 读数(值) +6%读数(值) |
-5% 读数(值) +6% 读数(值)
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重复性& 迟滞 |
±0.35% 读数 |
±1.00% 读数 |
±0.5% 读数 |
±1.00% 读数 |
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压降@ 满量程（in H2O） |
1.50(典型值) |
1.02(典型值) |
8.00(典型值)
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Min Typ. Max. | ||||
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电源（VDC） |
8.0 10±0.01 15 (2) | |||
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功耗（mW） |
50 60 | |||
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反应时间（ms） |
1.0 3.0 (1) | |||
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共模压力（psi） |
150 | |||
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输出负载 |
NPN(电流沉):10mA PNP（电流源）：20mA | |||
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标定气体 |
氮气（AWM42150VH 为氢气） | |||
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比率变化量 |
±0.3% 读数 | |||
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工作温度 |
-25~85C | |||
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储存温度（?C） |
-40~PREFIX = ST1 90C | |||
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冲击 |
100g 峰值(5drops,6axis) | |||
注：1、从10%~90% 反应时间一般1 毫秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、的防止损坏的流量变化量：5LPM/1.0sec
WM43300V气体质量流量传感器安装尺寸（仅供参考）:
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