霍尼韦尔(Honeywell)流量傳感器 AWM42150VH_深圳市广辉电子有限公司

AWM43300V气体质量流量传感器特点：
●多个集中安装/O 形密封圈
●陶瓷流量管（无引气管），0-1000sccm
●塑料流量管（无引气管），0-6SLPM
●高共模压力（150psi）
●工作温度可至125?C
● 零点和满量程高稳定性
AWM40000系列气体质量流量传感器包括不带放大和放大/ 信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43600V气体质量流量传感器为6SLPM 器件。

图1 WM43300V气体质量流量传感器发热控制电路

PREFIX = O 图2 WM43300V气体质量流量传感器传感桥路供电电路

AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:

	AWM42150VH	AWM42300V	AWM43300V	AWM43600V
流量范围（满量程）	±25sccm	±1000sccm	+1000sccm	+6LPM
输出电压@ 标定点	8.5±1.5mV @25sccm	54.7±3.7mVDC @1000sccm	5±0.15VDC @1000sccm	5±0.15VDC @6LPM
零点电压	0.0±1.0 mV DC	0.0±1.0 mV DC	1.00±0.05VDC	1.00±0.05VDC
零点漂移+25~-25?C +25~85?C	±0.20mV DC	±0.20mV DC	±0.025VDC	±0.025VDC
输出电压漂移+25~-25?C +25~+85?C	+2.5% 读数(典型值) -2.5% 读数(典型值)	±2.5% 读数(值) +6% 读数(值)	-5% 读数(值) +6%读数(值)	-5% 读数(值) +6% 读数(值)
重复性& 迟滞	±0.35% 读数	±1.00% 读数	±0.5% 读数	±1.00% 读数
压降@ 满量程（in H2O）		1.50(典型值)	1.02(典型值)	8.00(典型值)
	Min Typ. Max.
电源（VDC）	8.0 10±0.01 15 (2)
功耗（mW）	50 60
反应时间（ms）	1.0 3.0 (1)
共模压力（psi）	150
输出负载	NPN(电流沉):10mA PNP（电流源）：20mA
标定气体	氮气（AWM42150VH 为氢气）
比率变化量	±0.3% 读数
工作温度	-25~85C
储存温度（?C）	-40~PREFIX = ST1 90C
冲击	100g 峰值(5drops,6axis)

注：1、从10%~90% 反应时间一般1 毫秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、的防止损坏的流量变化量：5LPM/1.0sec

WM43300V气体质量流量传感器安装尺寸（仅供参考）:

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